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PEFC・DMFC用 R to R 特殊氣氛爐
| 項目 | 規格 |
| 使用溫度 | R.T.～400℃ |
| 溫度精度 | ±5℃ |
| 氣氛 | Air、N2 |
| 清淨度 | Class 1000 |
| 薄膜寬度 | 600~1200mm |
| 搬送張力 | 10~100N |